在半導體制造、科研實驗和工業(yè)生產中，精確的真空測量至關重要。日本佐藤真空（SATOVAC INC.）憑借其約90年的專業(yè)技術積累，推出的PHIL皮拉尼真空計系列，以其的性能和可靠的穩(wěn)定性，成為全球真空測量領域的重要選擇。

01 產品概述與技術原理

真空技術作為支撐宇宙開發(fā)、半導體、平板顯示器、能源、醫(yī)療等廣泛產業(yè)的基礎技術，其測量精度直接關系到產品質量與科研進展。

佐藤PHIL皮拉尼真空計正是基于這一需求而設計的精密測量儀器，采用先進的熱傳導原理，為用戶提供精準、可靠的真空壓力測量解決方案。

皮拉尼真空計的核心原理基于氣體分子的熱傳導特性。其基本構造包含金屬圓筒內部設有一根白金細線，兩端連接電極。

當電流通過白金細線時，細線會發(fā)熱，其熱量會通過三種方式被帶走：氣體分子碰撞白金細線（Qg）、熱輻射（Qr）以及通過固體熱傳導（Qs）。

在平衡狀態(tài)下，滿足以下公式：
Q = I2R = Qg + Qr + Qs

當氣體的平均自由行程比細線的直徑大很多時，Qg可以通過自由分子的熱傳導表示為：
Qg = αΛπda(T－T?)p

其中T和T?分別為細線和金屬圓筒的溫度，P為氣體壓力，a是細線長度。

通過保持T和T?一定，可以將固體熱傳導和熱輻射視為常數(shù)，從而建立起電流與壓力之間的直接關系，實現(xiàn)真空壓力的精確測量。

02 產品系列與型號參數(shù)

佐藤PHIL皮拉尼真空計提供多種型號，滿足不同應用場景和精度要求。以下是主要型號的技術參數(shù)對比：

從表中可以看出，佐藤PHIL皮拉尼真空計系列覆蓋了從大氣壓到高真空（1×10?～1.3×10?1Pa） 的廣泛測量范圍，能夠滿足大多數(shù)工業(yè)應用的需求。

數(shù)字型號提供更豐富的顯示方式和擴展功能，而模擬型號則以其簡潔可靠的特點適用于基礎應用場景。

03 核心技術特點與創(chuàng)新

佐藤PHIL皮拉尼真空計融合了多項創(chuàng)新技術，使其在真空測量領域脫穎而出：

寬范圍測量與自動切換

PG-D5A型號具備6個量程自動切換功能，測量范圍從1×10?Pa（接近大氣壓）至1.3×10?1Pa。

這種寬范圍覆蓋能力使得用戶無需在不同真空階段更換測量設備，大大提高了工作效率。

智能化顯示與操作系統(tǒng)

數(shù)字型號采用數(shù)字和條形圖雙重顯示方式，使壓力信息以易于理解的方式呈現(xiàn)。

用戶可以同時讀取精確的數(shù)字值和直觀的趨勢圖，便于快速判斷系統(tǒng)狀態(tài)。

強大的擴展與通信功能

PG-D5A和PG-20B等型號配備了通信功能和BNC輸出等擴展功能，可用于各種控制、FA系統(tǒng)等多種用途。

PG-20B可以將六個設定點自由分配給觸點輸出，并配備了可選的擴展功能，如3ch傳感器、通信功能和BCD輸出。

穩(wěn)定可靠的硬件設計

模擬型號PG-2BM采用固態(tài)電路設計，即使在電壓波動（90至110V）的情況下也能保持穩(wěn)定運行。

這種設計提高了設備在工業(yè)環(huán)境中的適應性，確保在不太理想的電力條件下仍能提供準確測量。

靈活安裝與溫度補償

所有型號均采用標準化測頭設計，安裝φ15mm測頭口，便于集成到各種真空系統(tǒng)中。

先進的溫度補償技術有效減少了環(huán)境溫度變化對測量精度的影響，確保讀數(shù)的準確性。

04 應用領域與典型案例

佐藤PHIL皮拉尼真空計憑借其性能和可靠性，在多個關鍵工業(yè)領域得到廣泛應用：

半導體與電子制造

在半導體前端處理、液晶顯示面板制造過程中，精確的真空控制是保證產品質量的關鍵。

皮拉尼真空計用于監(jiān)控濺射、CVD、蝕刻等工藝環(huán)節(jié)的真空度，確保工藝條件穩(wěn)定可靠。

科研與實驗裝置

佐藤真空技術為基礎科學的研究開發(fā)做出貢獻。在表面物理、核能、航天等研究領域，皮拉尼真空計提供精確的真空測量，為科學研究提供可靠數(shù)據(jù)支持。

醫(yī)療與食品工程

在醫(yī)療衛(wèi)生、化工領域，特別是冷凍干燥、滅菌工藝中，皮拉尼真空計用于監(jiān)控工藝過程中的真空度，確保產品質量和工藝重現(xiàn)性。

工業(yè)制造與真空冶金

在真空冶金和機械工業(yè)中，皮拉尼真空計適用于有大量放氣和經常暴露于大氣的真空設備的測量，提供快速、可靠的真空度監(jiān)測。

能源與航空航天

在能源領域和航空航天行業(yè)中，真空技術對產品性能和可靠性至關重要，皮拉尼真空計在這些領域提供必要的測量保障。

05 真空計選型指南

選擇合適的真空計對于確保測量效果至關重要。以下是一些關鍵選型考慮因素：

測量范圍需求

根據(jù)應用場景確定需要的測量范圍：

• 粗真空測量（10?～102Pa）：可選PG-2BM或PG-3FM

• 中高真空測量（102～10?1Pa）：可選PG-D5A或PG-20B

顯示與控制需求

• 基礎應用：模擬顯示（PG-2BM，PG-3FM）提供經濟實用的解決方案

• 復雜工藝控制：數(shù)字顯示（PG-D5A，PG-20B）提供更豐富的功能和更直觀的顯示

環(huán)境適應性

• 電源穩(wěn)定性差的環(huán)境：選擇具有固態(tài)電路設計的PG-2BM，可在電壓波動下穩(wěn)定運行

• 需要遠程控制的場景：選擇帶有通信功能的PG-D5A或PG-20B

氣體成分考量

不同氣體的熱導率不同，因此在測量的時候要刻度上需要校對。對于特殊氣體環(huán)境，需要根據(jù)氣體類型進行校準，以獲得準確測量結果。

06 操作維護與故障排除

正確的操作和維護對于保證真空計的長期穩(wěn)定運行至關重要：

安裝注意事項

• 確保測頭正確安裝到φ15mm測頭口，保證良好密封

• 為設備提供穩(wěn)定、符合要求的電源（根據(jù)型號提供AC100V或AC100V~240V）

• 保證設備周圍有足夠的散熱空間，避免高溫環(huán)境影響測量精度

日常維護要點

• 定期檢查測頭和相關連接部件，確保無泄漏

• 保持設備清潔，防止灰塵積累影響散熱

• 對于關鍵應用，建議定期校準以確保測量精度

常見故障處理

• 讀數(shù)不穩(wěn)定：檢查電源穩(wěn)定性，確認測頭安裝牢固

• 測量偏差：檢查系統(tǒng)是否存在泄漏，確認測頭是否需要清潔

• 通信故障：檢查連接線纜，確認通信設置是否正確

07 市場前景與發(fā)展趨勢

隨著半導體、新能源、航空航天等高科技產業(yè)的快速發(fā)展，對真空測量技術的需求持續(xù)增長：

技術融合與智能化

真空計正朝著智能化、網絡化方向發(fā)展，集成更多傳感器和數(shù)據(jù)通信功能，如PG-D5A和PG-20B已具備的通信功能和BCD輸出。

精度與可靠性提升

基于約90年的專業(yè)技術積累，佐藤真空繼續(xù)磨練真空泵、真空計測器、產生各種真空部件的組件技術，致力于提高產品的精度和可靠性。

應用領域擴展

真空計的應用正從傳統(tǒng)工業(yè)領域向醫(yī)療、食品、環(huán)境監(jiān)測等新領域擴展，佐藤真空將其技術應用于所有真空裝置群。

08 結語

佐藤PHIL皮拉尼真空計系列以其的技術性能、廣泛的產品適應性和可靠的使用壽命，在全球真空測量領域確立了其重要地位。

從基礎模擬型號到數(shù)字型號，從半導體制造到科研實驗，佐藤產品都能提供精準、高效的真空測量解決方案。

隨著工業(yè)技術的不斷發(fā)展，佐藤真空將繼續(xù)秉持創(chuàng)新精神和質量至上的理念，利用多年的經驗運用「真空的匠的技能」，制作顧客「想長時間持續(xù)使用」的產品。

為全球客戶提供更加優(yōu)質的產品和服務，助力各行業(yè)實現(xiàn)更高效、更精確的真空過程控制。