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日本ULVAC愛(ài)發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045
簡(jiǎn)要描述：

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科SV-200 SV-4540 SV-6040 大型設(shè)備濺射SV-9045
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045

SV系列是立式間歇式濺射裝置。 有磁盤(pán)壓模專用的SV-200，以及可處理大量基板的轉(zhuǎn)盤(pán)式。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：SV-200 SV-4540 SV-6040
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時(shí)間：2024-11-25
  • 訪  問(wèn)  量：259

詳細(xì)介紹

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045



間歇式濺射設(shè)備SV系列


特征

  • SV-4540、6040和9045為轉(zhuǎn)盤(pán)式，具有較大的電路板裝載能力，非常適合中小型或小批量、多品種生產(chǎn)。

  • SV-200 圓盤(pán)壓模機(jī) 鎳膜沉積專用設(shè)備，超緊湊、全自動(dòng)、高產(chǎn)量。

目的

  • 在各種基材上沉積電極膜、絕緣膜和介電膜

規(guī)格


SV-200SV-4540SV-6040SV-9045
標(biāo)準(zhǔn)排氣系統(tǒng)8"低溫泵12"低溫泵12"低溫泵16"低溫泵
極限壓力6.7e-5Pa6.7e-5Pa6.7e-5Pa6.7e-5Pa
車廠方向邊邊邊邊
成膜面積均勻性
靜
轉(zhuǎn)		Φ200mm±5%L300mm±10%L300mm±10%L400mm±10%
基材加熱沒(méi)有任何250℃250℃250℃
控制系統(tǒng)自動(dòng)的自動(dòng)的自動(dòng)的自動(dòng)的

不包括選項(xiàng)SV-200		渦輪泵非水冷電極
油擴(kuò)散泵APC機(jī)制
多個(gè)同時(shí)倉(cāng)庫(kù)基材換向機(jī)構(gòu)
下站反應(yīng)濺射
常規(guī)陰極
鐵磁材料陰極
射頻蝕刻清洗 (SV-4540)
偏置機(jī)構(gòu)（SV-4540）



























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