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HORIBA堀場半導體緊湊型加熱汽化玉科供應
簡要描述：

HORIBA堀場LSC半導體緊湊型加熱汽化玉科供應
HORIBA堀場半導體緊湊型加熱汽化玉科供應

  • 產品型號：LSC
  • 廠商性質：代理商
  • 更新時間：2025-02-19
  • 訪  問  量：107

詳細介紹

HORIBA堀場半導體緊湊型加熱汽化玉科供應

HORIBA堀場半導體緊湊型加熱汽化玉科供應

LSC 系列


緊湊型加熱汽化

HORIBA 銷量人氣的加熱汽化系統(tǒng)為滿足目前高科技工業(yè)的需求而開發(fā)。該系統(tǒng)可在無需載氣的情況下進行穩(wěn)定的材料汽化，例如 TEOS（流量 600 SCCM）和 H2O（流量 2 SLM）。為方便操作，所有設備維護都可以在設備前端進行。

  • 大流量氣化

  • LSC-A100 提供 TEOS 600SCCM 和 H2O 2SLM 等材料的穩(wěn)定氣化

  • 所有設備維護都可以在設備前端進行

  • 可選掌上型 PDA 用于監(jiān)控 LSC 的運行狀態(tài)，并記錄和分析運行日志

產生的流速

H2O 2SLM，TEOS 600 SCCM（最大）

工作壓力

最大1.33kPa

源罐容量

2.7升

熱調節(jié)方式

熱調節(jié)器進行 PID 控制

液面檢測方法

浮動開關

內部質量流量控制器

SEC-8400 系列

氣壓閥

波紋管型

液體連接和氣體接觸區(qū)域的材料

SUS316L, PFA

工作溫度

20 至 35 °C

外部輸入

氣壓閥開/關、質量流量控制器流量設定信號（0 至 5 V DC/0 至 100% FS）、緊急停止信號、自動調零信號（選項）

外部輸出

溫度報警、液位HH報警、液位信號（H、M、L）、READY信號、質量流量控制器流量輸出信號（（0～5V DC/0～100％FS）、恒溫槽內風扇停止報警、閥門電壓監(jiān)視器（選配）

電源

AC100V、單相50/60Hz、1.5kVA

其他

自動充電系統(tǒng)：可連接到LU系列。



* 流量控制范圍根據(jù)液體的種類而變化。

* SCCM 和 SLM 是表示氣體流速（0°C、101.3 kPa 時為 mL/min、L/min）的符號。


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