在半導(dǎo)體制造過程中，精確控制化學(xué)藥液的濃度對產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要，而HORIBA的HF-960M系列正是為此而生的精密監(jiān)測解決方案。

在半導(dǎo)體清潔工藝中，隨著設(shè)備的小型化發(fā)展，RCA清潔過程中化學(xué)藥液的低濃度控制需求日益增長。HORIBA低濃度型HF/HCl濃度監(jiān)測儀應(yīng)運(yùn)而生，它采用具有出色耐腐蝕性的傳感器，能夠?qū)Φ蜐舛鹊穆然瘹浜桶睔膺M(jìn)行高精度、高速測量，成為單槽清洗和晶圓清洗過程的理想選擇。

01 產(chǎn)品概述與設(shè)計(jì)理念

HORIBA HF-960M低濃度型HF/HCl/NH?濃度計(jì)是專為半導(dǎo)體行業(yè)濕法工藝控制設(shè)計(jì)的精密監(jiān)測設(shè)備。該儀器采用無鉛焊料將芯片嵌入印刷電路板，符合環(huán)保RoHS標(biāo)準(zhǔn)，體現(xiàn)了HORIBA在精密儀器制造與環(huán)境保護(hù)方面的雙重承諾。

在半導(dǎo)體清洗過程中，化學(xué)藥液的濃度控制直接關(guān)系到清洗效果和產(chǎn)品良率。HF-960M通過其獨(dú)特的傳感器技術(shù)和精密的測量系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了對HF、HCl和NH?三種化學(xué)物質(zhì)的低濃度精確監(jiān)測，測量范圍分別達(dá)到HF：0-5000 ppm、HCl：0-5000 ppm、NH?：0-10000 ppm。

該設(shè)備采用面板安裝式設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，外部尺寸僅為96（寬）x 96（高）x 115（深）mm，重量約550克，非常適合在空間受限的半導(dǎo)體設(shè)備中集成使用。

02 核心技術(shù)特點(diǎn)

HF-960M濃度監(jiān)測儀融合了多項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)，確保在苛刻的工業(yè)環(huán)境下仍能保持性能。

多參數(shù)測量能力是HF-960M的突出特點(diǎn)。該設(shè)備可同時提供HF濃度、HCl濃度、NH?濃度、電導(dǎo)率和溫度五種測量模式，用戶無需購買多臺設(shè)備即可滿足多種監(jiān)測需求。

在測量性能方面，HF-960M實(shí)現(xiàn)了±25ppm的高再現(xiàn)性，顯示分辨率達(dá)到5000ppm（相當(dāng)于0.5%），能夠滿足半導(dǎo)體制造中對低濃度化學(xué)藥液的精確控制要求。

設(shè)備的模擬輸出功能極為靈活，可以在濃度測量范圍內(nèi)任意設(shè)置模擬輸出范圍，為用戶提供更精細(xì)的濃度值輸出。同時，儀器提供7個輸出點(diǎn)和3通道傳輸輸出，便于與各種控制系統(tǒng)集成。

濃度轉(zhuǎn)換功能通過輸入化學(xué)濃度與電導(dǎo)率和溫度特性之間的關(guān)系，實(shí)現(xiàn)精確的濃度換算，特別適用于低濃度化學(xué)溶液的稀釋控制。

03 測量原理與傳感器技術(shù)

HF-960M采用的FS-10F系列流通式傳感器具有的耐腐蝕性能，能夠在高腐蝕性化學(xué)環(huán)境中長期穩(wěn)定工作。

傳感器基于電導(dǎo)率測量原理，通過測量溶液的電導(dǎo)率變化來推算化學(xué)物質(zhì)的濃度。電導(dǎo)率測量范圍為0-50.0 mS/cm，配合高精度的溫度補(bǔ)償算法，確保在各種工況下都能獲得準(zhǔn)確的濃度數(shù)據(jù)。

對于HF、HCl和NH?濃度的測量，設(shè)備根據(jù)各自的溫度特性數(shù)據(jù)，通過溫度補(bǔ)償技術(shù)實(shí)現(xiàn)精確測量。這種補(bǔ)償機(jī)制有效消除了環(huán)境溫度波動對測量結(jié)果的影響，保證了數(shù)據(jù)的可靠性和重復(fù)性。

與傳統(tǒng)的光學(xué)測量方法相比，HORIBA采用的這種電化學(xué)測量技術(shù)更適合在半導(dǎo)體制造過程中的復(fù)雜化學(xué)環(huán)境下進(jìn)行長期穩(wěn)定監(jiān)測，且維護(hù)需求更低。

04 應(yīng)用領(lǐng)域與解決方案

HF-960M主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造業(yè)的濕法工藝控制，特別擅長解決現(xiàn)代半導(dǎo)體生產(chǎn)中的精密清洗挑戰(zhàn)。

在單晶圓清洗過程中，化學(xué)藥液的濃度控制至關(guān)重要。HF-960M可實(shí)時監(jiān)測清洗液中HF、HCl的濃度變化，確保每一片晶圓都能在最佳工藝條件下進(jìn)行清洗，從而提高產(chǎn)品良率和一致性。

對于RCA標(biāo)準(zhǔn)清洗工藝，HF-960M能夠精確監(jiān)控SC-1（NH?OH/H?O?/H?O）、SC-2（HCl/H?O?/H?O）等清洗液中的化學(xué)濃度，確保清洗效果的同時減少化學(xué)品的消耗。

除了半導(dǎo)體制造業(yè)，該設(shè)備還可應(yīng)用于平板顯示（FPD）制造、太陽能電池生產(chǎn)以及其他需要精確控制低濃度HF、HCl或NH?的精密化工業(yè)領(lǐng)域。

05 產(chǎn)品規(guī)格與性能參數(shù)

HF-960M在各項(xiàng)性能指標(biāo)上都表現(xiàn)出色，以下為其主要技術(shù)參數(shù)：

設(shè)備的工作環(huán)境要求為周圍溫度-5～45℃，相對濕度20～85％（無凝露），保存溫度范圍為-25～65℃，適應(yīng)大多數(shù)工業(yè)環(huán)境的要求。

06 系統(tǒng)集成與輸出功能

HF-960M設(shè)計(jì)了豐富的輸出功能，便于與現(xiàn)代工業(yè)自動化系統(tǒng)無縫集成。

設(shè)備提供4-20mA DC模擬輸出，可在濃度測量范圍的0-200%內(nèi)自由設(shè)定，使用戶能夠根據(jù)實(shí)際需要優(yōu)化輸出信號的解析度。

7個觸點(diǎn)輸出點(diǎn)不僅可以輸出各濃度的上下限，還能輸出濃度異常和異常樣品測定等多種信號，為系統(tǒng)提供全面的狀態(tài)監(jiān)測信息。

3通道傳輸輸出使設(shè)備能夠同時輸出濃度、電導(dǎo)率和溫度數(shù)據(jù)，滿足多參數(shù)同步監(jiān)控的需求。

此外，設(shè)備支持濃度轉(zhuǎn)換功能，通過內(nèi)置的算法將電導(dǎo)率和溫度數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為特定化學(xué)品的濃度值，大大簡化了系統(tǒng)配置和數(shù)據(jù)處理流程。

07 操作與維護(hù)特點(diǎn)

HF-960M在設(shè)計(jì)上充分考慮了用戶的使用便利性和維護(hù)需求，具有多項(xiàng)人性化特點(diǎn)。

設(shè)備的面板安裝結(jié)構(gòu)和IP65防護(hù)等級使其能夠直接安裝在清潔設(shè)備的控制面板上，既節(jié)省空間又便于觀察和操作。

簡潔的用戶界面和直觀的操作流程降低了操作人員的培訓(xùn)成本，即使是非專業(yè)人員也能快速掌握設(shè)備的使用方法。

在維護(hù)方面，傳感器采用的耐腐蝕材料和模塊化設(shè)計(jì)延長了設(shè)備的使用壽命，同時減少了維護(hù)頻率和備件成本。

自診斷功能可以實(shí)時監(jiān)測設(shè)備狀態(tài)，及時發(fā)現(xiàn)潛在問題，提醒用戶進(jìn)行預(yù)防性維護(hù)，避免因設(shè)備故障導(dǎo)致的生產(chǎn)中斷。

08 技術(shù)優(yōu)勢與市場競爭力

與其他品牌的濃度監(jiān)測儀相比，HORIBA HF-960M具有多方面的技術(shù)優(yōu)勢。

高精度與高重復(fù)性使HF-960M在低濃度測量領(lǐng)域表現(xiàn)，±25ppm的重復(fù)性指標(biāo)在同類產(chǎn)品中處于水平。

多參數(shù)集成測量能力減少了用戶需要采購的設(shè)備數(shù)量，簡化了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，降低了總體擁有成本。

耐腐蝕性能確保了設(shè)備在苛刻的化學(xué)環(huán)境中仍能保持長期穩(wěn)定性，減少了因設(shè)備故障導(dǎo)致的生產(chǎn)停頓風(fēng)險(xiǎn)。

靈活的輸出配置使設(shè)備能夠適應(yīng)各種自動化系統(tǒng)的接口要求，提供了出色的系統(tǒng)集成靈活性。

緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使其特別適合在空間受限的半導(dǎo)體設(shè)備中集成使用，這一點(diǎn)在設(shè)備小型化趨勢日益明顯的半導(dǎo)體行業(yè)中尤為重要。

HORIBA HF-960M低濃度型HF/HCl濃度監(jiān)測儀憑借其精密測量技術(shù)、穩(wěn)定性能和廣泛的應(yīng)用適應(yīng)性，已成為半導(dǎo)體制造和精密化工行業(yè)中的過程控制工具。

隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷向更小制程、更高集成度發(fā)展，對工藝化學(xué)品的精確控制要求將愈加嚴(yán)格，HORIBA將繼續(xù)通過其技術(shù)優(yōu)勢和創(chuàng)新精神，為產(chǎn)業(yè)提供更先進(jìn)、更可靠的監(jiān)測解決方案，為科技進(jìn)步保駕護(hù)航。